FIB雙束電鏡是利用電磁透鏡將離子束聚焦成非常小的點，然后用這個點在樣品上進行掃描，通過檢測二次電子或背散射電子信號來獲取樣品表面信息的設備。常用于材料科學、半導體工業、生命科學等領域中的微觀分析、刻蝕和沉積等操作。
FIB雙束電鏡的真空系統對于其正常運作至關重要，因為高真空環境可以保證離子束和電子束不會與氣體分子發生相互作用，從而避免束流散射和能量損失，確保成像和加工的精確性。下面是FIB雙束電鏡真空系統的一般工作原理：
1、初級泵抽：啟動時，首先會使用機械泵或旋片泵進行初級抽氣，將腔體內的壓力從大氣壓降低到低真空狀態。
2、高真空泵抽：在初級泵抽之后，會啟動高真空泵，通常是渦輪分子泵或擴散泵，進一步降低壓力至高真空狀態。這些泵通過高速旋轉的葉片或加熱后的金屬葉片來捕獲并壓縮氣體分子，從而維持高真空環境。
3、真空維持：一旦達到所需的高真空水平，系統會持續運行高真空泵以保持這一狀態。此外，系統中還可能包含冷阱或其他低溫表面，用以凝結殘余氣體，幫助維持高真空。
4、樣品艙預抽：在裝載樣品前，樣品艙也會被預先抽成真空狀態，以防止大氣進入主真空腔體造成污染。
5、真空監測：在整個過程中，真空計會實時監控腔體內的壓力，確保真空度符合操作要求。如果檢測到壓力異常，系統會自動采取措施，如增加泵速或發出警報。
6、快速回歸真空：在進行樣品更換或系統維護時，真空腔體會暴露于大氣中，此時需要快速重新建立真空環境。一些先進的還配備了快速循環真空系統，可以在較短時間內恢復所需的高真空狀態。
FIB雙束電鏡的真空系統設計必須考慮到泵的效率、系統的密封性能、材料的放氣特性以及操作的便捷性等因素，以確保儀器能在最佳狀態下運行。
